Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Соловьев, Андрей Александрович | ru |
dc.contributor.author | Шипилова, Анна Викторовна | ru |
dc.date.accessioned | 2019-02-12T06:07:09Z | - |
dc.date.available | 2019-02-12T06:07:09Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.citation | Шипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 180 л. : ил. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | Электрохимия прикладная | ru |
dc.subject | диссертации | ru |
dc.subject | структуры | ru |
dc.subject | свойства | ru |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | магнетронное осаждение | ru |
dc.subject | электролиты | ru |
dc.subject | топливные элементы | ru |
dc.subject | распылительные системы | ru |
dc.subject | аноды | ru |
dc.subject | приповерхностные слои | ru |
dc.subject | твердооксидные элементы | ru |
dc.subject | покрытия | ru |
dc.subject | измерительное оборудование | ru |
dc.subject | многослойные структуры | ru |
dc.title | Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 | ru |
dc.type | Thesis | - |
dc.type | Dissertation | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/authorVersion | - |
dcterms.audience | Researches | - |
local.filepath | dis00293.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\369682 | - |
local.localtype | Диссертация | ru |
dc.subject.oksvnk | 01.04.07 | - |
local.thesis.level | Кандидат наук | ru |
local.thesis.degree | Кандидат технических наук | ru |
local.thesis.discipline | Физика конденсированного состояния | ru |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
dis00293.pdf | 8,01 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.