Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762| Title: | Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Authors: | Шипилова, Анна Викторовна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Соловьев, Андрей Александрович |
| Keywords: | Электрохимия прикладная; диссертации; структуры; свойства; тонкие пленки; магнетронное распыление; магнетронное осаждение; электролиты; топливные элементы; распылительные системы; аноды; приповерхностные слои; твердооксидные элементы; покрытия; измерительное оборудование; многослойные структуры |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Шипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 180 л. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| dis00293.pdf | 8,01 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.