Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826
Title: Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Authors: Сиделёв, Дмитрий Владимирович
metadata.dc.contributor.advisor: Кривобоков, Валерий Павлович
Keywords: Тонкопленочные покрытия; авторефераты диссертаций; осаждение; покрытия; хром; никель; магнетронные диоды; мишени; тонкие пленки; тонкопленочные материалы; магнетронное распыление; металлические мишени; кристаллические структуры
Issue Date: 2018
Citation: Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. — 22 с. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
thesis_tpu-2018-49.pdf2,56 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.