Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826
Название: Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Авторы: Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Научный руководитель: Кривобоков, Валерий Павлович
Ключевые слова: Тонкопленочные покрытия; авторефераты диссертаций; осаждение; покрытия; хром; никель; магнетронные диоды; мишени; тонкие пленки; тонкопленочные материалы; магнетронное распыление; металлические мишени; кристаллические структуры
Дата публикации: 2018
Библиографическое описание: Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. — 22 с. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2018-49.pdf2,56 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.