Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826| Title: | Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Authors: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Keywords: | Тонкопленочные покрытия; авторефераты диссертаций; осаждение; покрытия; хром; никель; магнетронные диоды; мишени; тонкие пленки; тонкопленочные материалы; магнетронное распыление; металлические мишени; кристаллические структуры |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. — 22 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2018-49.pdf | 2,56 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.