Особенности формирования структуры и свойств вакуумно-дуговых покрытий при использовании композитных порошковых катодных материалов на основе титана

Abstract

В настоящие время произведено разные методы нанесения ионно плазменных покрытий. Метод вакуумно-дуговые напыления считается наиболее перспективный и распространенный. Вакуумно-дуговые напыления позволяет контролировать свойством, составом и структурой покрытый за счет изменения технологических параметров (парциальное давления реакционного газа, температура подложки, напряжение смещения и др). Основной целю диссертации является разработка технологических основ изготовления спеченных порошковых катодов для вакуумно-дугового синтеза нитридных покрытий с нанокристаллической структурой. В качестве исследуемых объекта выбрал?и система титан-кремний.

At present, various methods of applying ion-plasma coatings have been produced. The method of vacuum-arc spraying is considered the most promising and common. Vacuum-arc spraying allows you to control the property, composition and structure of the coating by changing the technological parameters (partial pressure of the reaction gas, substrate temperature, bias voltage, etc.). The main purpose of the thesis is the development of technological bases for the manufacture of sintered powder cathodes for vacuum-arc synthesis of nitride coatings with a nanocrystalline structure. As the object under investigation, I chose and the titanium-silicon system.