Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54474
Title: | Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий |
Authors: | Вересов, Александр Евгеньевич |
metadata.dc.contributor.advisor: | Ремнёв, Геннадий Ефимович |
Keywords: | ионная очистка; ионная полировка; плазма; сопло Лаваля; индукционный плазменный источник; ion cleaning; ion polished; plasma; Laval nozzle; induction plasma source |
Issue Date: | 2019 |
Citation: | Вересов А. Е. Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий : магистерская диссертация / А. Е. Вересов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Г. Е. Ремнёв. — Томск, 2019. |
Abstract: | Работа посвящена разработке источника плазмы с импульсным напуском газа. Такой источник способен обрабатывать поверхности больших площадей потоком плазмы с высокой интенсивностью и низкой энергией ионов. The work is devoted to the development of a plasma source with a pulsed gas inlet. Such a source is capable of treating the surfaces of large areas with a stream of high-intensity plasma and low ion energy. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54474 |
Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU724465.pdf | 2,47 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.