Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54474| Название: | Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий |
| Авторы: | Вересов, Александр Евгеньевич |
| Научный руководитель: | Ремнёв, Геннадий Ефимович |
| Ключевые слова: | ионная очистка; ионная полировка; плазма; сопло Лаваля; индукционный плазменный источник; ion cleaning; ion polished; plasma; Laval nozzle; induction plasma source |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Вересов А. Е. Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий : магистерская диссертация / А. Е. Вересов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Г. Е. Ремнёв. — Томск, 2019. |
| Аннотация: | Работа посвящена разработке источника плазмы с импульсным напуском газа. Такой источник способен обрабатывать поверхности больших площадей потоком плазмы с высокой интенсивностью и низкой энергией ионов. The work is devoted to the development of a plasma source with a pulsed gas inlet. Such a source is capable of treating the surfaces of large areas with a stream of high-intensity plasma and low ion energy. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54474 |
| Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU724465.pdf | 2,47 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.