Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818
Title: Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения
Authors: Корженко, Дмитрий Владимирович
Юрьев, Юрий Николаевич
Емлин, Д. Р.
Плотников, С. А.
Keywords: сравнительный анализ; покрытия; углерод; методы осаждения; химическое осаждение; физическое осаждение
Issue Date: 2019
Citation: Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения / Д. В. Корженко [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019) : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — [С. 179-180].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2019-C49_p179-180.pdf732,24 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.