Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818| Title: | Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения |
| Authors: | Корженко, Дмитрий Владимирович Юрьев, Юрий Николаевич Емлин, Д. Р. Плотников, С. А. |
| Keywords: | сравнительный анализ; покрытия; углерод; методы осаждения; химическое осаждение; физическое осаждение |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения / Д. В. Корженко [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019) : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — [С. 179-180]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2019-C49_p179-180.pdf | 732,24 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.