Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61050
Title: Исследование структурно-фазового состояния и физико-механических свойств защитных нанокомпозитных покрытий системы Zr-Y-O на поверхности кремния
Authors: Ван, Синьсинь
metadata.dc.contributor.advisor: Божко, Ирина Александровна
Keywords: магнетронное осаждение; защитное покрытие Zr-Y-O; коэффициент светопропускания; трещиностойкость; ударные испытания; magnetron deposition; protective coating Zr-Y-O; transmittance; fracture toughness; impact tests
Issue Date: 2020
Citation: Ван Синьсинь Исследование структурно-фазового состояния и физико-механических свойств защитных нанокомпозитных покрытий системы Zr-Y-O на поверхности кремния : бакалаврская работа / Синьсинь Ван ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа новых производственных технологий (ИШНПТ), Отделение материаловедения (ОМ) ; науч. рук. И. А. Божко. — Томск, 2020.
Abstract: В данной работе представлены результаты исследований микроструктуры, фазового состава, физико-механических свойств покрытий системы Zr-Y-O толщиной 3 мкм и 6 мкм, полученных методом импульсного магнетронного осаждения на поверхности монокристаллического m-Si. Также представлены результаты лабораторных испытаний стойкости образцов кремния с защитными покрытиями системы Zr-Y-O к ударным нагрузкам при взаимодействии с потоком твердых микрочастиц Fe, разогнанных до скорости 5-7 км/c. Результаты лабораторных ударных испытаний показали, что после нанесения защитных покрытий системы Zr-Y-O толщиной 3 мкм процесс эрозии поверхности кремния протекает менее интенсивно, так как данные покрытия позволяют уменьшить поверхностную плотность кратеров в 3.7 раза по сравнению с исходными образцами кремния.
This paper presents the results of studies of the microstructure, phase composition, physical-mechanical properties of the Zr-Y-O coatings with a thickness of 3 ?m and 6 ?m obtained by pulsed magnetron deposition on the surface of single-crystal m-Si. The results of laboratory tests of the resistance to impact loads of silicon samples with the Zr-Y-O protective coatings at interaction with a flow of the Fe solid microparticles accelerated to a speed of 5-7 km / s are also presented. The results of laboratory impact tests showed that after deposition of the Zr-Y-O protective coatings with a thickness of 3?m, the erosion of the silicon surface proceeds less intensively, since these coatings reduce the surface density of craters by 3.7 times compared with the initial silicon samples.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61050
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы (ВКР)

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU930557.pdf2,16 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.