Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61050
Название: | Исследование структурно-фазового состояния и физико-механических свойств защитных нанокомпозитных покрытий системы Zr-Y-O на поверхности кремния |
Авторы: | Ван, Синьсинь |
Научный руководитель: | Божко, Ирина Александровна |
Ключевые слова: | магнетронное осаждение; защитное покрытие Zr-Y-O; коэффициент светопропускания; трещиностойкость; ударные испытания; magnetron deposition; protective coating Zr-Y-O; transmittance; fracture toughness; impact tests |
Дата публикации: | 2020 |
Библиографическое описание: | Ван Синьсинь Исследование структурно-фазового состояния и физико-механических свойств защитных нанокомпозитных покрытий системы Zr-Y-O на поверхности кремния : бакалаврская работа / Синьсинь Ван ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа новых производственных технологий (ИШНПТ), Отделение материаловедения (ОМ) ; науч. рук. И. А. Божко. — Томск, 2020. |
Аннотация: | В данной работе представлены результаты исследований микроструктуры, фазового состава, физико-механических свойств покрытий системы Zr-Y-O толщиной 3 мкм и 6 мкм, полученных методом импульсного магнетронного осаждения на поверхности монокристаллического m-Si. Также представлены результаты лабораторных испытаний стойкости образцов кремния с защитными покрытиями системы Zr-Y-O к ударным нагрузкам при взаимодействии с потоком твердых микрочастиц Fe, разогнанных до скорости 5-7 км/c. Результаты лабораторных ударных испытаний показали, что после нанесения защитных покрытий системы Zr-Y-O толщиной 3 мкм процесс эрозии поверхности кремния протекает менее интенсивно, так как данные покрытия позволяют уменьшить поверхностную плотность кратеров в 3.7 раза по сравнению с исходными образцами кремния. This paper presents the results of studies of the microstructure, phase composition, physical-mechanical properties of the Zr-Y-O coatings with a thickness of 3 ?m and 6 ?m obtained by pulsed magnetron deposition on the surface of single-crystal m-Si. The results of laboratory tests of the resistance to impact loads of silicon samples with the Zr-Y-O protective coatings at interaction with a flow of the Fe solid microparticles accelerated to a speed of 5-7 km / s are also presented. The results of laboratory impact tests showed that after deposition of the Zr-Y-O protective coatings with a thickness of 3?m, the erosion of the silicon surface proceeds less intensively, since these coatings reduce the surface density of craters by 3.7 times compared with the initial silicon samples. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61050 |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU930557.pdf | 2,16 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.