Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
Other Titles: Investigation of nitrogen-doped titanium oxide films deposited using magnetron sputtering
Authors: Сунь Чжилэй
Максим Евгеньевич
metadata.dc.contributor.advisor: Пичугин, Владимир Федорович
Keywords: оксид титана; магнетронное распыление; осаждение; фазовый состав; тонкие пленки; постоянный ток
Publisher: Изд-во ТУСУР
Citation: Сунь Чжилэй Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТУСУР, 2020. — Т. 1 : Физика. — [С. 236-238].
Abstract: In the present paper we investigated nitrogen-doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering with different regimes. The influence of reactive atmosphere and substrate bias on film deposition rate, refractive index, phase structure and topography has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized with maximum deposition rate. Addition of argon intro reactive atmosphere and substrate bias has led to the amorphous structure and flattened surface of TiO[x]N[y] films.
ISSN: 2020
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2020-C21_V1_p236-238.pdf557,69 kBAdobe PDFView/Open

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.