Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569| Название: | Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением |
| Другие названия: | Investigation of nitrogen-doped titanium oxide films deposited using magnetron sputtering |
| Авторы: | Сунь Чжилэй Конищев Максим Евгеньевич |
| Научный руководитель: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Ключевые слова: | оксид титана; магнетронное распыление; осаждение; фазовый состав; тонкие пленки; постоянный ток |
| Издатель: | Изд-во ТУСУР |
| Библиографическое описание: | Сунь Чжилэй Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТУСУР, 2020. — Т. 1 : Физика. — [С. 236-238]. |
| Аннотация: | In the present paper we investigated nitrogen-doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering with different regimes. The influence of reactive atmosphere and substrate bias on film deposition rate, refractive index, phase structure and topography has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized with maximum deposition rate. Addition of argon intro reactive atmosphere and substrate bias has led to the amorphous structure and flattened surface of TiO[x]N[y] films. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62569 |
| ISSN: | 2020 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C21_V1_p236-238.pdf | 557,69 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.