Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6262| Title: | Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Authors: | Рябчиков, Игорь Александрович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Усов, Юрий Петрович |
| Keywords: | физика; плазма; ионные потоки; ионная имплантация; оборудование; методы; проводящие мишени; диэлектрические мишени; короткие потенциалы смещения; биполярные импульсы смещения; авторефераты диссертаций |
| Issue Date: | 2006 |
| Citation: | Рябчиков И. А. Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Рябчиков ; Томский политехнический университет; науч. рук. Ю. П. Усов. — Томск, 2006. — 21 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6262 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2006-17.pdf | 498,96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.