Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63209| Название: | Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания |
| Авторы: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Ключевые слова: | функциональные покрытия; алюминиевые покрытия; магнетронное распыление; источники питания; металлические покрытия; оптическая спектроскопия; плазма |
| Дата публикации: | 2020 |
| Библиографическое описание: | Сиделёв Д. В. Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания / Д. В. Сиделёв // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г. — Томск : Ветер, 2020. — [С. 45]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63209 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C49_V1_p45.pdf | 645,5 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
