Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63209| Title: | Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания |
| Authors: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | функциональные покрытия; алюминиевые покрытия; магнетронное распыление; источники питания; металлические покрытия; оптическая спектроскопия; плазма |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Сиделёв Д. В. Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания / Д. В. Сиделёв // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г. — Томск : Ветер, 2020. — [С. 45]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63209 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C49_V1_p45.pdf | 645,5 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
