Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/858| Title: | Свойства магнетронного разряда на постоянном токе |
| Authors: | Жуков, В. В. Кривобоков, В. П. Пацевич, В. В. Янин, С. Н. |
| Keywords: | свойства; магнетронный разряд; постоянный ток; механизмы; распыления; мишени; зондовые измерения; электрический потенциал; магнетронные диоды; катоды; скорость; ионизация; рабочий газ; концентрация; плазма; координатное распределение; ионные компоненты; электронные компоненты; разрядный ток; энергетическое распределение; ускоренные ионы; аргон; поверхность; процессы; плазма; приповерхностные слои |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Свойства магнетронного разряда на постоянном токе / В. В. Жуков [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2005. — Т. 308, № 6. — [С. 69-74]. |
| Abstract: | Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/858 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2005-308-6-14.pdf | 476,59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.