Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129| Title: | Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления |
| Authors: | Семенов, В. А. Тусипов, Т. С. Сулейменова, Н. Б. Торопцева, А. А. |
| Keywords: | скорости; рост; медные покрытия; магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2014 |
| Citation: | Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления / В. А. Семенов [и др.] // Высокие технологии в современной науке и технике : сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [C. 34-38]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C17-007.pdf | 271,25 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.