Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527| Title: | Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.07 |
| Authors: | Киселева, Евгения Сергеевна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Никитенков, Николай Николаевич |
| Keywords: | Тонкопленочные покрытия; диссертации; физико-механические свойства; пленки; диоксид титана; оксинитрид титана; реактивное магнетронное распыление; механические свойства; структуры; элементный состав; импульсное магнетронное распыление; масс-спектрометрия; рентгенофазовый анализ |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Киселева Е. С. Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Е. С. Киселева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Н. Н. Никитенков. — Томск, 2016. — 113 л. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| dis00170.pdf | 3,65 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.