Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825
Title: | Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов |
Authors: | Голубовская, Н. О. |
Keywords: | очистка; газовые среды; выращивание; полупроводниковые монокристаллы |
Issue Date: | 2017 |
Citation: | Голубовская Н. О. Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов / Н. О. Голубовская // "Орбита молодёжи" и перспективы развития российской космонавтики : сборник докладов Всероссийской молодёжной научно-практической конференции, г. Томск, 18-22 сентября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 181-182]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2017-C121_p182-183.pdf | 196 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.