Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825
Title: Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов
Authors: Голубовская, Н. О.
Keywords: очистка; газовые среды; выращивание; полупроводниковые монокристаллы
Issue Date: 2017
Citation: Голубовская Н. О. Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов / Н. О. Голубовская // "Орбита молодёжи" и перспективы развития российской космонавтики : сборник докладов Всероссийской молодёжной научно-практической конференции, г. Томск, 18-22 сентября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 181-182].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2017-C121_p182-183.pdf196 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.