Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865| Название: | Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней |
| Другие названия: | Comparative analysis of features of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide using cooled and hot targets |
| Авторы: | Фишер, М. Э. Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Научный руководитель: | Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Ключевые слова: | silicon carbide; magnetron sputtering; OES-analysis |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Фишер, М. Э. Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней / М. Э. Фишер, В. А. Грудинин ; науч. рук. В. А. Грудинин // Перспективы развития фундаментальных наук. — Томск : Изд-во ТПУ, 2025. — Т. 1 : Физика. — С. 263-265. |
| Аннотация: | In this work the influence of the target type on the peculiarities of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide is considered. The plasma composition was determined by optical emission spectroscopy. It is revealed that at magnetron sputtering of hot target the intensity of plasma components increases |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|
| conference_tpu-2025-C21_V1_p263-265.pdf | 942,4 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
