Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417| Title: | Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН |
| Authors: | Каплин, Анатолий Александрович Покровская, А. Н. Стромберг, Армин Генрихович |
| Issue Date: | 1976 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Каплин А. А. Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН / А. А. Каплин, А. Н. Покровская, А. Г. Стромберг // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1976. — Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология. — [С. 109-112]. |
| Abstract: | Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-1976-v275-33_bw.pdf | Black-and-white version of the preview | 205,95 kB | Adobe PDF | View/Open |
| bulletin_tpu-1976-v275-33_full.pdf | Color version | 7,17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.