Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939
Название: | Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов |
Авторы: | Афанасьев, Михаил Сергеевич Лучников, Петр Александрович Митягин, Александр Юрьевич Чучева, Галина Викторовна |
Ключевые слова: | физика; гетероструктуры; формирование; технологические возможности; алмазоподобные материалы; сегнетоэлектрические материалы; сегнетоэлектрические пленки; алмазоподобные пленки; ВЧ-распыление; высокочастотное распыление |
Дата публикации: | 2012 |
Издатель: | Томский политехнический университет |
Библиографическое описание: | Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов / М. С. Афанасьев [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 1 (2). — [С. 115-119]. |
Аннотация: | Исследованы возможности формирования гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов. Определены оптимальные технологические условия формирования структур. Проведен анализ кристаллической структуры и фазового состава алмазоподобных и сегнетоэлектрических пленок. Показано, что формирование двухслойной гетероструктуры с алмазоподобным слоем при температуре подложки выше 700 С перовскитный слой не обладает сегнетоэлектрическими свойствами. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939 |
ISSN: | 2226-0064 |
Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
284.pdf | 733,05 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.