Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа

Abstract

Целью работы является определение характеристик влияниятемпературного воздействия на собственные частоты микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111), имеющей изотропию механических и температурных свойств во всех направлениях. Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели, имитирующей первичные колебания микромеханического гироскопа. Модель микрорезонатора, выбранная в качестве имитатора первичных колебаний микромеханического гироскопа, адекватно отражает характер колебаний массы по оси первичных колебаний. В результате получены температурные зависимости собственных частот и определены наиболее температурно-независимые моды колебаний для осциллятора, выполненного на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111).