Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692
Title: | Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа |
Authors: | Вторушин, Сергей Евгеньевич Нестеренко, Тамара Георгиевна |
Keywords: | кристаллографическая ориентация; кремниевые пластины; динамические характеристики; микромеханические гироскопы; конечно-элементное моделирование |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | Томский политехнический университет |
Citation: | Вторушин С. Е. Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа / С. Е. Вторушин, Т. Г. Нестеренко // Вестник науки Сибири. — 2014. — № 2 (12). — [С. 89-93]. |
Abstract: | Целью работы является определение влияния температурного воздействия на механические характеристики микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографическими ориентациями (100), (110), (111). Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели микромеханического гироскопа. В результате получены температурные зависимости собственных частот гироскопа для пяти вариантов расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине, а также определена зависимость масштабного коэффициента от температуры для наиболее температуронезависимого варианта расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине. На основе математической модели, учитывающей условие резонансной настройки по осям первичных и вторичных колебаний, получены формы выходных колебаний гироскопа. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692 |
ISSN: | 2226-0064 |
Appears in Collections: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.