Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques

Abstract

В работе приводятся результаты исследования структуры и химического состава азотсодержащих тонких пленок диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Приведены результаты анализа изменения структуры и фазового состава тонких пленок диоксида титана при увеличении содержания азота в газовой смеси методом рентгеновской дифракции. Химические связи, присутствующие в пленках, исследовались методом ИК-спектроскопии.