Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391
Title: | Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы |
Authors: | Ажгихин, М. И. Шульте, Й. Эллмер, К. |
metadata.dc.contributor.advisor: | Ан, Владимир Вилорьевич |
Keywords: | структуры; тонкие пленки; оксид меди; нитрид меди; магнетронные напыления; солнечные элементы |
Issue Date: | 2015 |
Citation: | Ажгихин М. И. Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы / М. И. Ажгихин, Й. Шульте, К. Эллмер ; науч. рук. В. В. Ан // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 159-163]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2015-C08-047.pdf | 358,35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.