Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСурменев, Роман Анатольевичru
dc.contributor.authorМельников, Е. С.ru
dc.contributor.authorМухаметкалиев, Т. М.ru
dc.date.accessioned2016-04-13T07:02:49Z-
dc.date.available2016-04-13T07:02:49Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationМельников Е. С. Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 144-146].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498-
dc.description.abstractIn this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.ru
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск, 2014.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectхарактеристикаru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectвысокочастотные разрядыru
dc.subjectмагнетронные разрядыru
dc.subjectраспылениеru
dc.subjectмишениru
dc.subjectгидроксиапатитru
dc.titleИсследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатитаru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)ru
local.description.firstpage144-
local.description.lastpage146-
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\4169-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18726-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2014-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C21-041.pdf151,76 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.