Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498
Title: | Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита |
Authors: | Мельников, Е. С. Мухаметкалиев, Т. М. |
metadata.dc.contributor.advisor: | Сурменев, Роман Анатольевич |
Keywords: | характеристика; плазма; высокочастотные разряды; магнетронные разряды; распыление; мишени; гидроксиапатит |
Issue Date: | 2014 |
Citation: | Мельников Е. С. Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 144-146]. |
Abstract: | In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2014-C21-041.pdf | 151,76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.