Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498
Название: Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
Авторы: Мельников, Е. С.
Мухаметкалиев, Т. М.
Научный руководитель: Сурменев, Роман Анатольевич
Ключевые слова: характеристика; плазма; высокочастотные разряды; магнетронные разряды; распыление; мишени; гидроксиапатит
Дата публикации: 2014
Библиографическое описание: Мельников Е. С. Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 144-146].
Аннотация: In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C21-041.pdf151,76 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.