Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498| Название: | Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита |
| Авторы: | Мельников, Е. С. Мухаметкалиев, Т. М. |
| Научный руководитель: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Ключевые слова: | характеристика; плазма; высокочастотные разряды; магнетронные разряды; распыление; мишени; гидроксиапатит |
| Дата публикации: | 2014 |
| Библиографическое описание: | Мельников Е. С. Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 144-146]. |
| Аннотация: | In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C21-041.pdf | 151,76 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.