Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889
Название: | Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния |
Авторы: | Козин, Кирилл Андреевич Горюнов, Алексей Германович Ливенцов, Сергей Николаевич Гаврилов, Петр Михайлович Ревенко, Ю. А. |
Ключевые слова: | поликристаллический кремний; Siemens-реактор; CVD-метод; алгоритмы управления; системы автоматизированного управления |
Дата публикации: | 2009 |
Издатель: | Томский политехнический университет |
Библиографическое описание: | Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния / К. А. Козин [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 70-74]. |
Аннотация: | Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889 |
ISSN: | 1684-8519 |
Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
bulletin_tpu-2009-315-5-14.pdf | 783,43 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.