Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Нечаев, Михаил Анатольевич | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-20T02:58:35Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-20T02:58:35Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления / М. А. Нечаев // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2010. — Т. 317, № 4: Энергетика. — [С. 115-120]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430 | - |
| dc.description.abstract | Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2010. Т. 317, № 4: Энергетика | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
| dc.subject | электропривод сканирования | - |
| dc.subject | автоматизированные системы управления | - |
| dc.subject | АСУ | - |
| dc.subject | управление | - |
| dc.subject | вакуумное напыление | - |
| dc.subject | установки | - |
| dc.title | Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 115 | - |
| local.description.lastpage | 120 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2010/v317/i4/25.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\210360 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\27732 | - |
| local.issue | 4 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 317 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2010-317-4-25.pdf | 157,32 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.