Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430| Название: | Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления |
| Авторы: | Нечаев, Михаил Анатольевич |
| Ключевые слова: | электропривод сканирования; автоматизированные системы управления; АСУ; управление; вакуумное напыление; установки |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления / М. А. Нечаев // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2010. — Т. 317, № 4: Энергетика. — [С. 115-120]. |
| Аннотация: | Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430 |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2010-317-4-25.pdf | 157,32 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.