Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430
Title: Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
Authors: Нечаев, Михаил Анатольевич
Keywords: электропривод сканирования; автоматизированные системы управления; АСУ; управление; вакуумное напыление; установки
Issue Date: 2010
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления / М. А. Нечаев // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2010. — Т. 317, № 4: Энергетика. — [С. 115-120].
Abstract: Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430
Appears in Collections:Известия ТПУ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-2010-317-4-25.pdf157,32 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.