Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430
Название: Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
Авторы: Нечаев, Михаил Анатольевич
Ключевые слова: электропривод сканирования; автоматизированные системы управления; АСУ; управление; вакуумное напыление; установки
Дата публикации: 2010
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления / М. А. Нечаев // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2010. — Т. 317, № 4: Энергетика. — [С. 115-120].
Аннотация: Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2010-317-4-25.pdf157,32 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.