Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430| Title: | Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления |
| Authors: | Нечаев, Михаил Анатольевич |
| Keywords: | электропривод сканирования; автоматизированные системы управления; АСУ; управление; вакуумное напыление; установки |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления / М. А. Нечаев // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2010. — Т. 317, № 4: Энергетика. — [С. 115-120]. |
| Abstract: | Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3430 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2010-317-4-25.pdf | 157,32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.