1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorBleykher, Galina Alekseevnaen
dc.contributor.authorBorduleva, Alena Olegovnaen
dc.contributor.authorYuryeva, Alena Victorovnaen
dc.date.accessioned2016-12-30T02:54:08Z-
dc.date.available2016-12-30T02:54:08Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationBleykher G. A. The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target / G. A. Bleykher, A. O. Borduleva, A. V. Yuryeva // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 234].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833-
dc.language.isoenen
dc.relation.ispartofEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectэнергияru
dc.subjectподложкиru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectмагнетроныru
dc.subjectмишениru
dc.subjectжидкие металлыru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectпоток энергииru
dc.subjectжидкие фазыru
dc.subjectmagnetron sputteringru
dc.subjectevaporationru
dc.subjectenergy flux onto substrateru
dc.subjectliguid-phase targetru
dc.titleThe energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal targeten
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)ru
local.description.firstpage234-
local.filepathconference_tpu-2016-C117_p235.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\19877-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31496-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\36492-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\33389-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p235.pdf220,76 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.