Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624| Title: | Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий |
| Authors: | Линник, Степан Андреевич Гайдайчук, Александр Валерьевич Шаманин, Игорь Владимирович |
| Keywords: | тлеющий разряд; полые катоды; плазмохимические реакции; осаждение из газовой фазы; азотирование; поверхности; модификация |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Линник С. А. Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий / С. А. Линник, А. В. Гайдайчук, И. В. Шаманин // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 86-88]. |
| Abstract: | Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2011-318-2-18.pdf | 156,06 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.