Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438

Title:	Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием
Authors:	Парфёнова, Елена Сергеевна
metadata.dc.contributor.advisor:	Князева, Анна Георгиевна
Keywords:	электронные ресурсы; заряженные частицы; ионная имплантация; концентрационные волны; примеси; металлы
Issue Date:	2016
Citation:	Парфёнова Е. С. Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием / Е. С. Парфёнова ; науч. рук. А. Г. Князева // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016) : сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г. — Томск : STT, 2016. — [С. 531-532].
URI:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2016-C17_p531-532.pdf		238,38 kB	Adobe PDF	View/Open