Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874| Название: | Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления |
| Авторы: | Сергеев, Виктор Петрович Федорищева, М. В. Сунгатулин, А. Р. Никалин, А. Ю. Нейфельд, В. В. |
| Ключевые слова: | магнетронное осаждение; ионная бомбардировка; покрытия; нитриды; кремний; алюминий; термостойкость; фазовый состав; термомеханические свойства; атомно-силовая микроскопия; рентгеноструктурный анализ; термоциклическая стойкость |
| Дата публикации: | 2011 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления / В. П. Сергеев [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 103-108]. |
| Аннотация: | Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2011-319-2-22.pdf | 4,34 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.