Моделирование гистерезиса процесса реактивного магнетронного напыления оксидов и нитридов титана

Abstract

В работе представлены теоретические основы по плёнкам, методы осаждения, модель Берга и Деплы, реализация модели Деплы в программных продуктах.В ходе работы были определены зависимости гистерезиса от параметров процесса и определены области гистерезиса, а также теоретические данные были сравнены с экспериментальными данными.

This work presents theoretical basics on films, deposition methods, the Berg and Depla model, the implementation of the Depla's model in software products. In the course of the work, hysteresis dependencies on the process parameters and hysteresis regions were determined, and theoretical data were compared with experimental data.