Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501| Title: | Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления |
| Other Titles: | Microstructure analysis of titanium oxynitride films deposited by reactive magnetron sputtering |
| Authors: | Сунь Чжилэй Конищев, Максим Евгеньевич Пустовалова, Алла Александровна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Keywords: | биосовместимость; имплантаты; медицинское материаловедение; гладкомышечные клетки; гемосовместимость |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Изд-во ТПУ |
| Citation: | Сунь Чжилэй. Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — Т. 1 : Физика. — [С. 423-425]. |
| Abstract: | This paper presents the structure analysis results of TiOxNy films, deposited using reactive magnetron sputtering with different O2/N2 flow ratio. The impact of increase of N2 flow upon the films structure has been studied. The analysis was carried out by X-ray diffraction method. The lattice parameters and phase composition were calculated using PowderCell 2.4. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C21_V1_p423-425.pdf | 368,13 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.