Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
Title: | Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок |
Authors: | Гренадёров, А. С. Оскомов, К. В. Работкин, С. В. Соловьёв, Андрей Александрович Сыпченко, Владимир Сергеевич |
metadata.dc.contributor.advisor: | Соловьёв, Андрей Александрович |
Keywords: | электронные ресурсы; оптические элементы; ИК-системы; алмазоподобные покрытия; кремний-углерод; графитизация; монокристаллический кремний |
Issue Date: | 2017 |
Citation: | Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок / А. С. Гренадёров [и др.] ; науч. рук. А. А. Соловьёв // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 45-46]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2017-C17_p44-46.pdf | 596,45 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.