Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью

Abstract

В процессе работы проводились экспериментальные исследования структуры, шероховатости, электрического сопротивления и поверхности покрытий, полученных при разных условиях осаждения Осаждение медных покрытий из жидкой фазы с помощью МРС с испаряемой мишенью позволяет получить высокие скорости осаждения, низкое удельное электрическое сопротивление и хорошую адгезию пленок с подложкой по сравнению с осаждением из твердофазной МРС.

In the course of the work, experimental studies of the structure, roughness, electrical resistance, and surface coatings obtained under different deposition conditions The deposition of copper coatings by means of an MSS with an evaporated target allows obtaining high deposition rates, low electrical resistivity, and good adhesion of the films to the substrate as compared to precipitation from the solid-state MSS.