Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571
Title: | Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью |
Authors: | Николаев, Михаил Вячеславович |
metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьева, Алёна Викторовна |
Keywords: | жидкофазная магнетронная распылительная система; скорость осаждения; электропроводящие покрытия; структурные свойства; медные покрытия; liquid-phase magnetron sputtering system; depostion rate; electroconductive coatings; structural properties; copper coatings |
Issue Date: | 2018 |
Citation: | Николаев М. В. Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : магистерская диссертация / М. В. Николаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2018. |
Abstract: | В процессе работы проводились экспериментальные исследования структуры, шероховатости, электрического сопротивления и поверхности покрытий, полученных при разных условиях осаждения
Осаждение медных покрытий из жидкой фазы с помощью МРС с испаряемой мишенью позволяет получить высокие скорости осаждения, низкое удельное электрическое сопротивление и хорошую адгезию пленок с подложкой по сравнению с осаждением из твердофазной МРС. In the course of the work, experimental studies of the structure, roughness, electrical resistance, and surface coatings obtained under different deposition conditions The deposition of copper coatings by means of an MSS with an evaporated target allows obtaining high deposition rates, low electrical resistivity, and good adhesion of the films to the substrate as compared to precipitation from the solid-state MSS. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571 |
Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU562830.pdf | 1,81 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.