Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614| Title: | Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью |
| Authors: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Keywords: | магнетронное распыление; высокоскоростное осаждение; покрытия; хром; никель; magnetron sputtering; high rate deposition; coating; chrome; nickel |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью : научный доклад / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Управление магистратуры, аспирантуры и докторантуры (УМАД), Отдел аспирантуры и докторантуры (ОАиД) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. |
| Abstract: | В настоящей работе представлены результаты исследования свойств покрытий из хрома и никеля от режимов распыления "горячей" металлической мишени в плазме магнетронной распылительной системы. This work reports on the dependence of properties of Cr and Ni coatings on operation parameters of magnetron sputtering system with hot target. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614 |
| Appears in Collections: | Научные доклады |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU563564.pdf | 238,96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.