Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614
Название: | Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью |
Авторы: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
Научный руководитель: | Кривобоков, Валерий Павлович |
Ключевые слова: | магнетронное распыление; высокоскоростное осаждение; покрытия; хром; никель; magnetron sputtering; high rate deposition; coating; chrome; nickel |
Дата публикации: | 2018 |
Библиографическое описание: | Сиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с «горячей» мишенью : научный доклад / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Управление магистратуры, аспирантуры и докторантуры (УМАД), Отдел аспирантуры и докторантуры (ОАиД) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. |
Аннотация: | В настоящей работе представлены результаты исследования свойств покрытий из хрома и никеля от режимов распыления "горячей" металлической мишени в плазме магнетронной распылительной системы. This work reports on the dependence of properties of Cr and Ni coatings on operation parameters of magnetron sputtering system with hot target. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48614 |
Располагается в коллекциях: | Научные доклады |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU563564.pdf | 238,96 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.