Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381| Название: | Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления |
| Авторы: | Загузин, И. Ю. Лютиков, О. Н. |
| Научный руководитель: | Мышкин, Вячеслав Фёдорович |
| Ключевые слова: | напыление; магнитные поля; магнетронное распыление; тонкие пленки; физико-химические процессы; изотопный состав |
| Дата публикации: | 2018 |
| Библиографическое описание: | Загузин И. Ю. Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления / И. Ю. Загузин, О. Н. Лютиков ; науч. рук. В. Ф. Мышкин // Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы V Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 19-23 ноября 2018 г. — Томск : Графика, 2018. — [С. 42]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2018-C84_p42.pdf | 275,92 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.