Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Title: | Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния |
Other Titles: | Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film |
Authors: | Бельгебаева, Д. Е. |
metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
Keywords: | мишени; магнетронные диоды; оптические свойства; пленки; кремний; оптические свойства |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | Изд-во ТПУ |
Citation: | Бельгебаева Д. Е. Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния / Д. Е. Бельгебаева ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 64-66]. |
Abstract: | Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf | 277,1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.