Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Бельгебаева, Д. Е.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800

Title:	Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния
Other Titles:	Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film
Authors:	Бельгебаева, Д. Е.
metadata.dc.contributor.advisor:	Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Keywords:	мишени; магнетронные диоды; оптические свойства; пленки; кремний; оптические свойства
Issue Date:	2019
Publisher:	Изд-во ТПУ
Citation:	Бельгебаева Д. Е. Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния / Д. Е. Бельгебаева ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 64-66].
Abstract:	Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.
URI:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf		277,1 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar