Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818
Название: | Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения |
Авторы: | Корженко, Дмитрий Владимирович Юрьев, Юрий Николаевич Емлин, Д. Р. Плотников, С. А. |
Ключевые слова: | сравнительный анализ; покрытия; углерод; методы осаждения; химическое осаждение; физическое осаждение |
Дата публикации: | 2019 |
Библиографическое описание: | Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения / Д. В. Корженко [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019) : сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — [С. 179-180]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2019-C49_p179-180.pdf | 732,24 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.