Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57741
Название: | Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers |
Авторы: | Ryabchikov, Aleksandr Ilyich Lopatin, I. V. Ananin, Petr Semenovich Bleicher, Galina Alekseevna Ivanova, Anna Ivanovna Koval, Tamara Vasilievna Modebadze, Georgy Slavovich Sivin, Denis Olegovich |
Ключевые слова: | имплантация; мишени; ионно-модифицированные слои; температурные поля; металлические мишени; интенсивные пучки; ионы металлов; температурные градиенты |
Дата публикации: | 2019 |
Библиографическое описание: | Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers / A. I. Ryabchikov [et al.] // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 51]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57741 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2019-C108_p51.pdf | 369,18 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.